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赛莱克斯请求曝光焦距确认办法专利完成曝光工艺焦距监控

2025-04-29 角接触球轴承
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  金融界2025年1月28日音讯,国家知识产权局信息数据显现,北京赛莱克斯世界科技有限公司请求一项名为“曝光焦距确认办法”的专利,公开号 CN 119356037 A,请求日期为2024年10月。

  专利摘要显现,本请求公开了一种曝光焦距确认办法,在曝光工艺中,使用测验掩模板对测验晶圆进行曝光以在测验晶圆上构成样本图画阵列,经过从样本图画阵列中筛选出的多个方针样本图画的要害尺度,确认与每一个方针样本图画对应的样本焦距,最终依据多个方针样本图画对应的样本焦距,确认曝光工艺的曝光焦距,以完成曝光工艺的焦距监控。本请求供给的曝光焦距确认办法,可以适用于在投影式光刻机正常运转过程中,经过定时将测验晶圆混入正常出产的晶圆中,在曝光工艺中,选用测验掩模板对测验晶圆进行曝光,就可以完成曝光焦距的监控,不需要周期性的停机和发动,防止产线的连续出产状况被损坏,防止产能的丢失。

  天眼查资料显现,北京赛莱克斯世界科技有限公司,成立于2015年,坐落北京市,是一家以从事科技推广和使用服务业为主的企业。企业注册本钱150000万人民币,实缴本钱150000万人民币。经过天眼查大数据分析,北京赛莱克斯世界科技有限公司共对外出资了2家企业,知识产权方面有商标信息5条,专利信息10条,此外企业还具有行政许可3个。

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